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FOUP / FOSB 全自動清洗系統 |
本設備是以在市場上榮獲全球頂尖性能與信賴肯定的 UPC-12100 為基礎，所重新升級設計的 300mm 晶圓傳送盒（FOUP）全自動清洗系統。
圍繞現代半導體製造不可或缺的「高質量、高吞吐量（High Throughput）、節能」三大核心概念進行全面改良。
設備不僅符合 SEMI 國際標準，更通過 CE 歐盟安全認證。
完全相容於自動化搬運系統（AMHS），通訊協定支援 GEM300，非常適合工廠內部的線上自動化管理。 |
| FOUP / FOSB full automatic cleaning system UPC-12500 (SORA) |
| 型號：UPC-12500 (SORA) |
| 設備不僅符合 SEMI 國際標準，更通過 CE 歐盟安全認證。 |
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RSP 200/150 全自動清洗系統 |
這是一款專為光罩專用傳送盒（RSP200 / RSP150）設計的全自動清洗系統。
設備配備卓越的清洗性能，可達到奈米級（Nano-level）的微粒清除效果。
核心設計理念兼具「精密清洗」與「節省空間（Space saving）」，全面協助客戶建構兼具高效率的生產環境。 |
| RSP 200/150 Fully Automatic Cleaning System SR-200 / 150 (REN) |
| 型號：SR-200 / 150 (REN) |
| 專為光罩專用傳送盒（RSP200 / RSP150）設計的全自動清洗系統。 |
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EUV POD 全自動清洗系統 |
專為最新一代 exposure（極紫外光微影曝光）技術所使用的 EUV POD 打造的全自動清洗設備（已取得專利）。
系統能將 Inner POD（內盒）與 Outer POD（外盒）進行自動拆解與重新組裝，並將各別的 POD 送入專用的 CH（處理腔體/Chamber）內進行清洗與乾燥。
設備支援全無人化自動作業。
憑藉我們作為半導體載具（Carrier）清洗設備專業製造商 30 年來累積的獨家清洗與乾燥技術，完美實現奈米級的微粒（Particle）移除。 |
| EUV POD full auto cleaning system SR-EUV (REN) |
| 型號：SR-EUV (REN) |
| 專為最新一代 exposure（極紫外光微影曝光）技術所使用的 EUV POD 打造的全自動清洗設備（已取得專利）。 |
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晶圓卡匣與傳送盒全自動清洗系統 |
本設備作為 CRD-4500 的後續升級機種，是一款可對應至 8 吋晶圓卡匣（Cassette）與傳送盒（Box）的全自動清洗系統。
只需將待清洗物放置於專用托盤上，系統便會在各個處理腔體內執行高效的清洗與乾燥作業。
托盤的傳送系統採用了 Hugle 獨家研發、具備微粒防範對策的特殊滾輪系統（Special roller system），全面杜絕二次污染。 |
| Cassette and box full automatic cleaning system SC-8 |
| 型號：SC-8 |
| 只需將待清洗物放置於專用托盤上，系統便會在各個處理腔體內執行高效的清洗與乾燥作業。 |
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