相關式樣及精度規格,可配合客戶需求調整。詳情請洽業務單位。 RTP Series 半導體前段製程 RTP-12MP, RTP-12LR Asher Series 半導體前段製程 DSS300, DSS600 RTP Series 半導體後段製程 RTP-12MP, RTP-12LR Asher Series 半導體後段製程 DSS300, DSS600 SINGLE/BATCH WET CLEANING ETCHING SYSTEM 半導體後段製程 兼容8"12"機型 高品質工序, 低藥液使用